[实用新型]一种真空油扩散泵有效
申请号: | 200820122622.1 | 申请日: | 2008-09-19 |
公开(公告)号: | CN201265565Y | 公开(公告)日: | 2009-07-01 |
发明(设计)人: | 樊旗根;张杭海;张蔚 | 申请(专利权)人: | 宁波科宁达工业有限公司;北京中科三环高技术股份有限公司 |
主分类号: | F04F9/00 | 分类号: | F04F9/00;F04F9/08 |
代理公司: | 北京王景林知识产权代理事务所 | 代理人: | 王景林;梁 洁 |
地址: | 315803浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种真空油扩散泵,包括被抽气体的进气口、对油蒸汽进行加热的加热器、使油蒸汽被加热器加热后上升的泵芯、以及被抽气体与被加热的油蒸汽的混合气体的出气口,其特征在于,还包括一测温及其控制系统。本实用新型可对扩散泵油温进行测量,从而利用温控仪及其控制电路来改变加热功率,控制扩散泵油温,使扩散泵达到最佳的工作状态,更起到节能的目的。另外,可对加热盘采取保温措施,以降低加热盘的实际使用功率。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 扩散 | ||
【主权项】:
1. 一种真空油扩散泵,包括被抽气体的进气口、对油蒸汽进行加热的加热器、使油蒸汽被加热器加热后上升的泵芯、以及被抽气体与被加热的油蒸汽的混合气体的出气口,其特征在于,还包括测温及其控制系统。
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