[实用新型]一种真空油扩散泵有效

专利信息
申请号: 200820122622.1 申请日: 2008-09-19
公开(公告)号: CN201265565Y 公开(公告)日: 2009-07-01
发明(设计)人: 樊旗根;张杭海;张蔚 申请(专利权)人: 宁波科宁达工业有限公司;北京中科三环高技术股份有限公司
主分类号: F04F9/00 分类号: F04F9/00;F04F9/08
代理公司: 北京王景林知识产权代理事务所 代理人: 王景林;梁 洁
地址: 315803浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种真空油扩散泵,包括被抽气体的进气口、对油蒸汽进行加热的加热器、使油蒸汽被加热器加热后上升的泵芯、以及被抽气体与被加热的油蒸汽的混合气体的出气口,其特征在于,还包括一测温及其控制系统。本实用新型可对扩散泵油温进行测量,从而利用温控仪及其控制电路来改变加热功率,控制扩散泵油温,使扩散泵达到最佳的工作状态,更起到节能的目的。另外,可对加热盘采取保温措施,以降低加热盘的实际使用功率。
搜索关键词: 一种 真空 扩散
【主权项】:
1. 一种真空油扩散泵,包括被抽气体的进气口、对油蒸汽进行加热的加热器、使油蒸汽被加热器加热后上升的泵芯、以及被抽气体与被加热的油蒸汽的混合气体的出气口,其特征在于,还包括测温及其控制系统。
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