[实用新型]通过防护处理的磁控溅射圆柱靶无效
| 申请号： | 200820123702.9 | 申请日： | 2008-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN201309962Y | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 王智建;陈志涛;刘建民;秦和军;丁朋磊;李雪峰 | 申请（专利权）人： | 皇明太阳能集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 何文彬 |
| 地址： | 253000山东省德州市经济开*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种通过防护处理的磁控溅射圆柱靶，包括热缩管、靶芯轭铁和安装在靶芯轭铁上的磁铁，在装配好的磁铁表面和靶芯轭铁表面涂有防锈漆，所述的热缩管通过热风枪的烘烤箍在靶芯外面，所述的热缩管的两个端口与靶芯轭铁间涂有硅胶，所述的热缩管的两个端口最外层设有防水胶带；所述的硅胶为704硅胶。采用本实用新型的结构使水与磁铁隔离，防止了水对磁铁的腐蚀，使整支靶的磁场强度能够长期保持均匀，进而保证了靶能够长期稳定溅射，大大地延长了靶的使用寿命；同时也减少了工艺操作人员微调工艺的频率，降低了劳动强度，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 防护 处理 磁控溅射 圆柱 | ||
【主权项】：
1、一种通过防护处理的磁控溅射圆柱靶，包括热缩管、靶芯轭铁和安装在靶芯轭铁上的磁铁，其特征在于，在装配好的磁铁表面和靶芯轭铁表面涂有防锈漆，所述的热缩管通过热风枪的烘烤箍在靶芯外面，所述的热缩管的两个端口与靶芯轭铁间设有硅胶，所述的热缩管的两个端口最外层设有防水胶带。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于皇明太阳能集团有限公司，未经皇明太阳能集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200820123702.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大功率高温电磁阀
- 下一篇：改进的污水汽提装置的汽提塔底净化水换热系统
- 同类专利
- 专利分类
