[实用新型]300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置有效
申请号: | 200820124686.5 | 申请日: | 2008-12-17 |
公开(公告)号: | CN201352061Y | 公开(公告)日: | 2009-11-25 |
发明(设计)人: | 赵星梅;董金卫;胡星强;艾伦·埃马米 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | F27B1/10 | 分类号: | F27B1/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100016*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置,其特征在于:设有内固定板(1)、中固定板(2)、外固定板(3),所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中,炉丝引线(4)穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔(2.1)和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面,炉丝引线的另一端与炉丝6焊接在一起,炉丝引线中部与中固定板焊接在一起,内、外固定板由绝缘、耐热材料制成,通过螺栓(5)固定在氧化炉炉体的内壁上。本实用新型适用于300mm硅片立式氧化炉炉体的炉丝引线固定,引线固定结构合理,无松动及攒动现象。 | ||
搜索关键词: | 300 mm 立式 氧化 炉炉体炉丝 引线 固定 装置 | ||
【主权项】:
1、一种300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置,其特征在于:设有内固定板(1)、中固定板(2)、外固定板(3),所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中,炉丝引线(4)穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔(2.1)和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面,炉丝引线的另一端与炉丝(6)焊接在一起,炉丝引线中部与中固定板焊接在一起,内外固定板由绝缘耐热材料制成,通过螺栓(5)固定在氧化炉炉体的内壁上。
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