[实用新型]换靶台车无效
| 申请号： | 200820127570.7 | 申请日： | 2008-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN201258357Y | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 洪婉玲;郭勋聪 | 申请（专利权）人： | 钰衡科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王一斌;王 琦 |
| 地址： | 中国台湾台南县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种换靶台车，包括有：支撑座体，为由复数个框体与复数个杆体所组成的立体框架；翻转单元，设置于该支撑座体上，具有一翻转框体及设置于该翻转框体两相对边以连结所述支撑座体的旋转装置，所述旋转装置具有一固定于所述支撑座体的心轴固定座以及一固定于所述翻转框体并穿设于所述心轴固定座的转动心轴，所述转动心轴异于所述翻转框体的一端设有一把手；复数个固定单元，设置于所述翻转框体异于所述旋转装置的两相对边；通过上述结构，当溅镀设备的溅镀阴极进行靶材更换时，可以将溅镀阴极固定后作180度翻转，以改善过去采用人力翻转所产生的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 靶台 | ||
【主权项】：
1、一种换靶台车，其特征在于，该换靶台车包括：支撑座体，为由复数个框体与复数个杆体所组成的立体框架；翻转单元，设置于所述支撑座体上，具有一翻转框体以及设置于该翻转框体两相对边以连结所述支撑座体的旋转装置，所述旋转装置具有一固定于所述支撑座体的心轴固定座以及一固定于所述翻转框体并穿设于所述心轴固定座的转动心轴，所述转动心轴异于所述翻转框体的一端设有一把手；复数个固定单元，设置于所述翻转框体上异于所述旋转装置的两相对边。
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