[实用新型]一种内传输轮轨导引结构有效

专利信息
申请号: 200820129479.9 申请日: 2008-08-18
公开(公告)号: CN201272827Y 公开(公告)日: 2009-07-15
发明(设计)人: 黎瑞海 申请(专利权)人: 凌嘉科技股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人: 许 静
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型公开了一种内传输轮轨导引结构,其在一应用于真空溅镀的腔体内设置框架,该框架二侧枢组有若干轮轴,并于各该轮轴上套设有二滚轮,所有位于该框架上的滚轮呈行列状平行对齐排列,可被一传动机构传动而旋转,用以带动一置于其上的载盘作传输位移,各该滚轮沿其圆周方向的轮面形成有一定位部,而该载盘背面对应这些呈行列状平行对齐排列的滚轮的位置,形成有对应其行列数目及定位部形状的嵌置部,该载盘放置于这些滚轮上,该嵌置部与这些定位部作嵌设结合。当该载盘放置于这些滚轮上时,通过各该嵌置部与这些定位部作嵌设结合,令该载盘的移动具有导引效果,以确保该载盘传输行程的平稳度与安定性。
搜索关键词: 一种 传输 导引 结构
【主权项】:
1. 一种内传输轮轨导引结构,其构成包含一真空溅镀用的腔体,该腔体内设置有框架,该框架二侧之间枢组有多个轮轴,而各该轮轴上则另套设有若干滚轮,用于供一载盘放置于这些滚轮上缘面后,通过传动机构的运转而带动该载盘作输送行程的移位,其特征在于:各该滚轮沿其圆周方向的轮面形成有一定位部,而该载盘背面对应这些呈行列状平行对齐排列的滚轮的位置,形成有对应其行列数目及定位部形状的嵌置部,该载盘放置于这些滚轮上,该嵌置部与这些定位部作嵌设结合。
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