[实用新型]直立式连续式两面镀膜设备无效
| 申请号： | 200820130094.4 | 申请日： | 2008-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN201258358Y | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 郑兆希 | 申请（专利权）人： | 向熙科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/36 | 分类号： | C23C14/36 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许 静 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了直立式连续式两面镀膜设备，应用于溅镀工件环境中。该直立式连续式两面镀膜设备包含：多个直立式腔体，该多个直立式腔体用以对工件进行溅镀；多个活动式闸门，在不同的直立式腔体之间以该活动式闸门予以隔离，以避免影响直立式腔体的真空度及/或洁净度；以及载具，在不同的直立式腔体之间，利用该载具来传送该工件，其中，利用该多个直立式腔体中不同工艺的直立式腔体的单侧且对称的两面放置阴极，以让该工件经由该载具送入时，可在一次的真空传送过程中完成该工件的两面溅镀。该直立式连续式两面镀膜设备可同时对工件的两面进行溅镀和/或在一次的真空传送过程中完成工件两面的溅镀。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 连续 两面 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1. 一种直立式连续式两面镀膜设备，应用于溅镀工件环境中，其特征在于，该直立式连续式两面镀膜设备包含：多个直立式腔体，该多个直立式腔体用以对工件进行溅镀；多个活动式闸门，在不同的直立式腔体之间以该活动式闸门予以隔离，以避免影响直立式腔体的真空度及/或洁净度；以及载具，在不同的直立式腔体之间，利用该载具来传送该工件，其中，利用该多个直立式腔体中不同工艺的直立式腔体的单侧且对称的两面放置阴极，以让该工件经由该载具送入时，可在一次的真空传送过程中完成该工件的两面溅镀。
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