[实用新型]晶片抓取手臂无效
申请号: | 200820132185.1 | 申请日: | 2008-08-04 |
公开(公告)号: | CN201252093Y | 公开(公告)日: | 2009-06-03 |
发明(设计)人: | 林进达 | 申请(专利权)人: | 林进达 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;B65G47/91;B25J15/06 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周春发 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型晶片抓取手臂,包括有本体、盖板以及通气管,其中盖板位于本体的底面,而通气管位于本体的尾端,且盖板的外表面与本体的底面齐平,如此一来,在晶片抓取手臂伸入于卡匣中欲吸取晶片时,便不会刮伤层叠存放下方的晶片表面。 | ||
搜索关键词: | 晶片 抓取 手臂 | ||
【主权项】:
1、一种晶片抓取手臂,其特征在于,包括:一本体,具有一凹槽设置于该本体的底面,而该凹槽的表面上形成有一第一气道;一盖板,对应盖合于该凹槽上以封闭第一气道,且该盖板的外表面与该本体的底面齐平;以及一通气管,组接于该本体的尾端并与第一气道连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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