[实用新型]晶片抓取手臂无效

专利信息
申请号: 200820132185.1 申请日: 2008-08-04
公开(公告)号: CN201252093Y 公开(公告)日: 2009-06-03
发明(设计)人: 林进达 申请(专利权)人: 林进达
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;B65G47/91;B25J15/06
代理公司: 北京申翔知识产权代理有限公司 代理人: 周春发
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型晶片抓取手臂,包括有本体、盖板以及通气管,其中盖板位于本体的底面,而通气管位于本体的尾端,且盖板的外表面与本体的底面齐平,如此一来,在晶片抓取手臂伸入于卡匣中欲吸取晶片时,便不会刮伤层叠存放下方的晶片表面。
搜索关键词: 晶片 抓取 手臂
【主权项】:
1、一种晶片抓取手臂,其特征在于,包括:一本体,具有一凹槽设置于该本体的底面,而该凹槽的表面上形成有一第一气道;一盖板,对应盖合于该凹槽上以封闭第一气道,且该盖板的外表面与该本体的底面齐平;以及一通气管,组接于该本体的尾端并与第一气道连通。
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2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

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