[实用新型]半导体芯片装盘前的变步距机构无效
申请号: | 200820133689.5 | 申请日: | 2008-09-13 |
公开(公告)号: | CN201252092Y | 公开(公告)日: | 2009-06-03 |
发明(设计)人: | 郑翔;姜开云 | 申请(专利权)人: | 铜陵三佳科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00 |
代理公司: | 铜陵市天成专利事务所 | 代理人: | 马元生 |
地址: | 244000安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型半导体芯片装盘前的变步距机构,它包括变步距装置和变步距驱动装置,变步距装置包括底板[4]、固定在底板[4]上的若干个直线滑轨[3]、与直线滑轨[3]配合可沿直线滑轨前后滑动的若干个步距变换台[2],步距变换台一端固接有驱动臂[9];变步距驱动装置包括变步距轴[7]和驱动变步距轴[7]转动的驱动电机[12],变步距轴[7]上设有若干个展开后间距呈逐渐靠近的导向槽[10];驱动臂[9]的自由端置于变步距轴[7]上的导向槽[10]内,随导向槽[10]的转动而移动,与变步距轴[7]构成凸轮驱动机构。本实用新型可同时对8排产品实现步距变换,因此变换范围大,效率高。 | ||
搜索关键词: | 半导体 芯片 装盘前 变步距 机构 | ||
【主权项】:
1、半导体芯片装盘前的变步距机构,其特征是它包括变步距装置和变步距驱动装置,所述的变步距装置包括底板[4]、平行固定在底板[4]上的若干个直线滑轨[3]、与直线滑轨[3]配合可沿直线滑轨前后滑动的若干个步距变换台[2],所述每个步距变换台一端固接有驱动臂[9];所述的变步距驱动装置包括变步距轴[7]和与变步距轴[7]联接并驱动变步距轴[7]转动的驱动电机[12],变步距轴[7]上设有若干个环绕变步距轴[7]且展开后间距呈逐渐靠近的导向槽[10],构成圆柱凸轮;驱动臂[9]的自由端置于变步距轴[7]上的导向槽[10]内,随导向槽[10]的转动而移动,与变步距轴[7]构成凸轮驱动机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造