[实用新型]真空溅镀设备的传动装置

摘要

本实用新型公开一种真空溅镀设备的传动装置，其为设置于一真空溅镀设备的腔体中，且该装置包括二固定座、多个传动齿轮、至少二导轮以及至少二导轮齿轮；其中，所述二固定座为相对设置于腔体的内壁，且各固定座具有至少一贯穿于该固定座的轴孔及至少一穿设于该轴孔的连接轴；所述多个传动齿轮为枢设于固定座面对腔体之内壁的一侧；所述至少二导轮为各套设于连接轴且异于腔体内壁的一端；所述至少二导轮齿轮为各套设于连接轴且异于导轮的一端并啮合于所述传动齿轮。本实用新型的优点在于，可耐受溅镀设备的腔体内高温，并传动效果好，使用寿命长，大大降低了设备更换、修缮的成本耗费。

主权项

1、一种真空溅镀设备的传动装置，为设置于真空溅镀设备的腔体中，其特征在于，该装置包括有：二固定座，其相对设置于所述腔体的内壁，各固定座具有至少一贯穿于该固定座之轴孔以及至少一穿设于该轴孔的连接轴；多个传动齿轮，其为枢设于所述固定座面对所述腔体之内壁的一侧；至少二导轮，且各套为设于所述连接轴异于腔体内壁的一端；至少二导轮齿轮，且各套为设于所述连接轴异于所述导轮的一端并啮合于该传动齿轮。