[实用新型]溅镀靶材的冷却装置无效
| 申请号： | 200820136754.X | 申请日： | 2008-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN201268720Y | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 姚朝祯 | 申请（专利权）人： | 钰衡科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 杨建君 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种溅镀靶材的冷却装置，是设置于一溅镀阴极的阴极本体的下方，该阴极本体具有一环形水道，该冷却装置包括有：一绝缘座，是具有一凹槽以及至少二贯穿该绝缘座并连通于该凹槽的接合孔；一磁铁底板，是设置于该凹槽之中，具有至少二水路接头设置孔，该水路接头设置孔是介于该环形水道与该接合孔之间并且对应于该环形水道与该接合孔；至少二水路接头，各具有一接合部以及一连接于该接合部的一端的出水端部；通过上述的结构，本实用新型将冷却水直接注入环形水道，更可提升冷却效果以增进溅镀靶材的热能逸散。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀靶材 冷却 装置 | ||
【主权项】：
1、一种溅镀靶材的冷却装置，是设置于一溅镀阴极的阴极本体的下方，该阴极本体具有一环形水道，其特征在于该冷却装置包括有：一绝缘座，是具有一凹槽以及至少二贯穿该绝缘座并连通于该凹槽的接合孔；一磁铁底板，是设置于该凹槽之中，具有至少二水路接头设置孔，该水路接头设置孔是介于该环形水道与该接合孔之间并且对应于该环形水道与该接合孔；至少二水路接头，各具有一接合部以及一连接于该接合部的一端的出水端部。
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