[实用新型]水平炉管的炉门封闭装置有效
| 申请号： | 200820152584.4 | 申请日： | 2008-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN201302377Y | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 王刚;狄宝山;徐国利 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18;H01L21/22 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王 洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属于微电子装备领域，具体涉及一种水平炉管的炉门封闭装置。本实用新型所公开的水平炉管的炉门封闭装置包括：带有三个或三个以上支撑柱的炉门、与炉门上的支撑柱连接的支撑柱调节装置以及穿通于炉门的桨。通过调节支撑柱调节装置，炉管与水平炉管的端口较好地平面啮合，因此能达到较好的密封效果。同时，也保证了炉门与水平放置的桨的垂直度，避免桨和桨和桨所穿过的炉门上的方形孔之间的磨损，提高炉门封闭系统的密封效果，并提高炉门封闭系统的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 水平 炉管 炉门 封闭 装置 | ||
【主权项】：
1.一种水平炉管的炉门封闭装置，其特征在于，包括：带有三个或三个以上支撑柱的炉门；与炉门上的支撑柱连接的支撑柱调节装置；以及穿通于炉门的桨。
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