[实用新型]可变孔隙粒子分析仪有效
| 申请号： | 200820154251.5 | 申请日： | 2008-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN201282105Y | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 阳厚国;张进创;王蒙;逄锦涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王 洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种可变孔隙粒子分析仪，包括入射粒子源、偏转磁场、孔隙板，其特征在于所述孔隙板为长方形板状，板面上设有至少一个方形砚孔，在孔隙板上还设有一活动挡板，沿方形孔隙板边缘的导轨在板面上滑动。通过改变滑动挡板的位置，精确调节砚孔的缝宽大小。得以实现在粒子分析中，可根据实际需求选择通过不同的带电粒子，而无需更换孔隙板的目的，选择灵活，配置简单。 | ||
| 搜索关键词： | 可变 孔隙 粒子 分析 | ||
【主权项】：
1、一种可变孔隙粒子分析仪，包括孔隙板，其特征在于所述孔隙板的板面上设有至少一个方形砚孔；还设有至少一挡板，在板面上滑动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200820154251.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：隔离开关机构安装调节器
- 下一篇：高压真空断路器的储能机构改良
