[实用新型]适用于高洁净环境使用的干燥箱无效
申请号: | 200820154426.2 | 申请日: | 2008-10-24 |
公开(公告)号: | CN201289272Y | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
发明(设计)人: | 陈宁;刘贤 | 申请(专利权)人: | 上海宏科半导体技术有限公司 |
主分类号: | F26B9/06 | 分类号: | F26B9/06;F26B3/02 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 胡美强 |
地址: | 201712上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种适用于高洁净环境使用的干燥箱,包括:一个由PE材质组成的外壳;在所述的外壳的上方连接一个不锈钢风机;在不锈钢风机的下方、外壳的顶部安置一个高效过滤装置;在外壳的内顶部安置至少一个以上的红外灯加热装置;所述的红外灯加热装置连接一个由PE材料组成的支撑架子;所述的支撑架子连接一个升降控制机构;在外壳的内底部安置一个由四氟材料组成的垫子;外壳的前侧是一个移动门窗;本实用新型的有益效果是:保证了部件表面的洁净度,在最大限度内避免了金属污染的前提下,以比较温和的方式对部件进行干燥处理。 | ||
搜索关键词: | 适用于 洁净 环境 使用 干燥箱 | ||
【主权项】:
1. 一种适用于高洁净环境使用的干燥箱,其特征在于包括:一个由PE材质组成的外壳;在所述的外壳的上方连接一个不锈钢风机;在不锈钢风机的下方、外壳的顶部安置一个高效过滤装置;在外壳的内顶部安置至少一个以上的红外灯加热装置;所述的红外灯加热装置连接一个由PE材料组成的支撑架子;所述的支撑架子连接一个升降控制机构;在外壳的内底部安置一个由四氟材料组成的垫子;外壳的前侧是一个移动门窗。
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