[实用新型]液体排放装置有效
申请号: | 200820154497.2 | 申请日: | 2008-10-27 |
公开(公告)号: | CN201297498Y | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 安云富;刘伟 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | F17D1/18 | 分类号: | F17D1/18;F17D3/01 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提出一种液体排放装置,包括存储容器,回收容器以及连接所述存储容器和所述回收容器的排放管道,所述排放管道为双套管结构,所述排放管道夹层两端分别与一热水供应系统和一热水回收系统相连,本实用新型的排放管道设计为双套管结构且在夹层中输入热水,以保持管内的温度在化学品的结晶点之上,能够保证化学品沿排放管道顺畅排放,有效的减少了化学品堵塞管道的情况发生。 | ||
搜索关键词: | 液体 排放 装置 | ||
【主权项】:
1. 一种液体排放装置,包括存储容器,回收容器以及连接所述存储容器和所述回收容器的排放管道,其特征在于:所述排放管道为双套管结构,所述排放管道的夹层两端分别与一热水供应系统和一热水回收系统相连。
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