[实用新型]加热器底座有效
| 申请号： | 200820156368.7 | 申请日： | 2008-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN201321491Y | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 吴新江;吴军海 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;H01L21/316 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种加热器底座，包括底座主体，其上分布第一插孔、第二插孔和第三插孔，其特征在于在所述底座主体的侧面开螺丝孔，所述螺丝孔和所述第一插孔导通，所述螺丝孔中放置螺丝，本实用新型加热器底座结构简单，能很好的解决了加热器接地不良的问题，保证了整个机器的良好运行。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 底座 | ||
【主权项】：
1.一种加热器底座，包括底座主体，其上分布第一插孔、第二插孔和第三插孔，其特征在于在所述底座主体的侧面开螺丝孔，所述螺丝孔和所述第一插孔导通，所述螺丝孔中放置螺丝。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
