[实用新型]探针卡支承板有效
申请号: | 200820156370.4 | 申请日: | 2008-12-01 |
公开(公告)号: | CN201322761Y | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 刘铁;童建桥;郭万瑾;柳入华 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种探针卡支承板,所述探针卡支承板包括外环面和内环面,所述内环面上两侧设有开口,所述内环面分布有若干组孔,各组孔以所述内环面圆心为中心呈同心圆状排列,所述内环面开口处两侧连接有卡槽,所述卡槽与所述内环面以可拆卸方式连接,各组孔所对应的圆的直径与不同尺寸的圆形探针卡相对应,所述外环面外侧设有若干突出块。本实用新型通过在原有的探针卡支承板上设有开口,即可与卡槽连接,从而可以通过调整卡槽的距离而适用于各种矩形类的探针卡,而且,通过在所述内环面上设有若干组同心的孔,当去掉所述卡槽后,可适用于各种圆形类的探针卡,从而可广泛应用于各类探针卡,提高了设备的利用率,也节省了成本。 | ||
搜索关键词: | 探针 支承 | ||
【主权项】:
1.一种探针卡支承板,所述探针卡支承板包括外环面和内环面,其特征在于:所述内环面上两侧设有开口,所述内环面分布有若干组孔,各组孔以所述内环面圆心为中心呈同心圆状排列。
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