[实用新型]掩模版库机构有效
| 申请号： | 200820156899.6 | 申请日： | 2008-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN201327564Y | 公开（公告）日： | 2009-10-14 |
| 发明（设计）人： | 马喜宝;李志龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B66F7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种掩模版库机构，包括摩擦阻力小，动作灵活、安全性能好的锁定和解锁机构，以及能够实现掩模版盒平稳可靠和高精度升降的升降机构，其中锁定和解锁机构把一个电机的旋转运动转化成，每两个一组的四个锁销进行相反方向的平移；而升降机构的外力垂直作用于滚珠丝杠的中心轴线上，运动稳定可靠，能保证遮模版托板在垂直方向任意位置暂停时所需的制动力；另外，由于在升降溜板和竖向导轨座之间设置了防尘盖板，故能够防止运动部件产生的颗粒污染物对掩模版盒的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 模版 机构 | ||
【主权项】：
1、一种掩模版库机构，包括锁定和解锁机构以及位于其下方的升降机构，其特征在于：所述锁定和解锁机构包括第一驱动组件和滑块机构，所述第一驱动组件驱动所述滑块机构作直线往复运动；所述升降机构包括第二驱动组件及导轨组件，所述第二驱动组件驱动掩模版盒沿导轨组件作直线往复运动。
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