[实用新型]可调沉积速率的真空镀膜机挡板无效
| 申请号： | 200820157253.X | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN201321488Y | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 卢宝文;徐学科;范正修 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种可调沉积速率的真空镀膜机挡板，包括一块耐高温的圆板，该圆板的圆心处垂直地连接一个转轴，该转轴的下端连接一驱动装置，其特点在于所述的圆板，自圆心辐射地划分为多个扇区，这些扇区依次为全挡区、不挡区和一个以上阻挡程度由小变大的阻挡区直至所述的全挡区，所述的不挡区是该扇区的面板被挖空，所述的全挡区是该扇区的面板完全保留，所述的阻挡区的扇区各开设有孔径由大到小，密度由密集到疏松的多个通孔，而同一扇区的通孔的孔径相同，密度均匀；所述的扇区的大小完全覆盖膜料蒸发源。本实用新型能有效地在不改变蒸发方法和镀膜材料蒸发速率的情况下多级调整薄膜的沉积速率，从而达到改善薄膜沉积性能的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 可调 沉积 速率 真空镀膜 挡板 | ||
【主权项】：
1、一种可调沉积速率的真空镀膜机挡板，包括一块耐高温的圆板，该圆板的圆心处垂直地连接一个转轴，该转轴的下端连接一驱动装置，其特征在于所述的圆板，自圆心辐射地划分为多个扇区，这些扇区依次为全挡区、不挡区和一个以上阻挡程度由小变大的阻挡区直至所述的全挡区，所述的不挡区是该扇区的面板被挖空，所述的全挡区是该扇区的面板完全保留，所述的阻挡区的扇区各开设有孔径由大到小，密度由密集到疏松的多个通孔，而同一扇区的通孔的孔径相同，密度均匀；所述的扇区的大小完全覆盖膜料蒸发源。
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