[实用新型]一种能快速降温的扩散炉无效

专利信息
申请号: 200820159573.9 申请日: 2008-12-05
公开(公告)号: CN201303001Y 公开(公告)日: 2009-09-02
发明(设计)人: 张恩理;娄志林;谢剑刚 申请(专利权)人: 湖南天利恩泽太阳能科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 411102湖南省湘*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 一种能快速降温的扩散炉。它主要是解决现有扩散炉降温慢的问题。炉膛为双层保温结构,炉膛上部设有进冷却气管(1)和电磁气阀,炉膛两端下部设有出气口(7),环型分配管(8)的两侧面有孔(9),环形分气管(8)环绕内保温层(5)中部,冷却空气可以通过孔进入保温夹层(4)。它主要是用于太阳能电池片PN结的制造。
搜索关键词: 一种 快速 降温 扩散
【主权项】:
1、一种能快速降温的扩散炉,其特征是:炉膛内有双层保温结构,炉膛一端设有进冷却气管(1)和电磁气阀,炉膛另一端设有出气口(7),环形分气管(8)环绕内保温层(5)中部,环型分配管(8)的两侧面有孔(9),冷却空气可以通过孔(9)进入保温夹层(4)。
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