[实用新型]一种能快速降温的扩散炉无效
申请号: | 200820159573.9 | 申请日: | 2008-12-05 |
公开(公告)号: | CN201303001Y | 公开(公告)日: | 2009-09-02 |
发明(设计)人: | 张恩理;娄志林;谢剑刚 | 申请(专利权)人: | 湖南天利恩泽太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 411102湖南省湘*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 一种能快速降温的扩散炉。它主要是解决现有扩散炉降温慢的问题。炉膛为双层保温结构,炉膛上部设有进冷却气管(1)和电磁气阀,炉膛两端下部设有出气口(7),环型分配管(8)的两侧面有孔(9),环形分气管(8)环绕内保温层(5)中部,冷却空气可以通过孔进入保温夹层(4)。它主要是用于太阳能电池片PN结的制造。 | ||
搜索关键词: | 一种 快速 降温 扩散 | ||
【主权项】:
1、一种能快速降温的扩散炉,其特征是:炉膛内有双层保温结构,炉膛一端设有进冷却气管(1)和电磁气阀,炉膛另一端设有出气口(7),环形分气管(8)环绕内保温层(5)中部,环型分配管(8)的两侧面有孔(9),冷却空气可以通过孔(9)进入保温夹层(4)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的