[实用新型]用于集成电路自动热压超声球焊机的防氧化保护装置无效
| 申请号： | 200820163659.9 | 申请日： | 2008-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN201247767Y | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 张永夫;林刚强 | 申请（专利权）人： | 浙江华越芯装电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/607 | 分类号： | H01L21/607 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所 | 代理人： | 方剑宏 |
| 地址： | 312000浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于集成电路自动热压超声球焊机的防氧化保护装置，包括吹气嘴、气嘴固定架、流量计以及供惰性保护气的保护气排，其中吹气嘴穿过气嘴固定架与流量计连接，流量计与保护气排连接。采用上述结构后，本实用新型对焊线在高温烧球时的焊线烧球区域吹惰性保护气而使之与空气隔离，从而实现了防氧化保护的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 集成电路 自动 热压 超声 球焊 氧化 保护装置 | ||
【主权项】：
1. 一种用于集成电路自动热压超声球焊机的防氧化保护装置，其特征在于：包括吹气嘴(1)、气嘴固定架(2)、流量计(3)以及供惰性保护气的保护气排(4)，其中吹气嘴(1)穿过气嘴固定架(2)与流量计(3)连接，流量计(3)与保护气排(4)连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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