[实用新型]真空镀膜设备无效
| 申请号： | 200820166972.8 | 申请日： | 2008-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN201276592Y | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 陆汉良 | 申请（专利权）人： | 舟山市汉邦机械科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/48 |
| 代理公司： | 舟山固浚专利事务所 | 代理人： | 范荣新 |
| 地址： | 316000浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的真空镀膜设备，有真空室[1]，真空室内安装有工件架[6]，真空室上有供工件进出的门[2]，所说门设置在真空室顶部。本实用新型提供的真空镀膜设备，将供工件进出的门设置在真空室的顶盖上，使工件可以从顶部单根吊装到工件架上。即工件是从顶部吊入并装到工件架上的，与现有技术相比，本实用新型克服了工件进出时大型工件进出无法应用吊装工具或不能单根吊装的不足。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1、一种真空镀膜设备，有真空室，真空室内安装有工件架，真空室上有供工件进出的门，其特征是所说门设置在真空室顶部。
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