[实用新型]真空离子镀膜机的自转机构有效
申请号: | 200820200630.3 | 申请日: | 2008-09-13 |
公开(公告)号: | CN201265038Y | 公开(公告)日: | 2009-07-01 |
发明(设计)人: | 苏东艺 | 申请(专利权)人: | 苏东艺 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/48 |
代理公司: | 江门嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 谭志强 |
地址: | 510520广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空离子镀膜机的自转机构,包括连接在真空镀膜室内的自转轴座和自转轴,其中,自转轴座由上、下轴座通过螺栓连接组合而成并将自转轴的中段套装于其内,所述自转轴伸出自转轴座的上端作为齿轮的中转轴连接于齿轮中间,下端连接挂钩,自转轴座内围绕自转轴设有承接自转轴的滚珠组;自转轴采用滚珠组承接,能起到很好的固定、转动效果,在没有润滑脂的环境下,滚珠能较好保证长时间的转动,本实用新型旋转可靠,使用寿命长,更合适于真空镀膜室的使用环境。 | ||
搜索关键词: | 真空 离子 镀膜 自转 机构 | ||
【主权项】:
1、一种真空离子镀膜机的自转机构,包括连接在真空镀膜室内的自转轴座(1)和自转轴(2),其中,自转轴座(1)由上、下轴座(11、12)通过螺栓连接组合而成并将自转轴(2)的中段套装于其内,所述自转轴(2)伸出自转轴座(1)的上端作为齿轮(3)的中转轴连接于齿轮(3)中间,下端通过连接挂钩(4),其特征在于:所述自转轴座(1)内围绕自转轴(2)设有承接自转轴(2)的滚珠组(5)。
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