[实用新型]物理气相沉积加热系统过流保护装置无效
申请号: | 200820218830.1 | 申请日: | 2008-10-31 |
公开(公告)号: | CN201280591Y | 公开(公告)日: | 2009-07-29 |
发明(设计)人: | 王学研;徐英凤 | 申请(专利权)人: | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人: | 许宗富 |
地址: | 110168辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种物理气相沉积加热系统过流保护装置,包括过流检测电路,通过感应线圈检测加热系统加热电源线的电流,经处理后输出触发信号;过流保护控制电路,接收过流检测电路输出的触发信号,延时控制加热系统电流调节电位器的电源切断;工作电源电路,为上述各电路中的用电器件提供工作电源。本实用新型具有延时触发功能,避免了在加温过程中加热电流的反复波动,减少了由于负载易受膜材颗粒的影响而反复变化,引起过电流的反复冲击给加热体带来的损坏。 | ||
搜索关键词: | 物理 沉积 加热 系统 保护装置 | ||
【主权项】:
1. 一种物理气相沉积加热系统过流保护装置,其特征在于包括:过流检测电路,通过感应线圈(L)检测加热系统加热电源线的电流,经处理后输出触发信号;过流保护控制电路,接收过流检测电路输出的触发信号,延时控制加热系统电流调节电位器(W)的电源切断;工作电源电路,为上述各电路中的用电器件提供工作电源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司,未经中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200820218830.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:出铝真空抬包喷射器尾气直通排烟管道净化系统
- 下一篇:齿轮淬火机床
- 同类专利
- 专利分类