[实用新型]物理气相沉积加热系统过流保护装置无效

专利信息
申请号: 200820218830.1 申请日: 2008-10-31
公开(公告)号: CN201280591Y 公开(公告)日: 2009-07-29
发明(设计)人: 王学研;徐英凤 申请(专利权)人: 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 代理人: 许宗富
地址: 110168辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型涉及一种物理气相沉积加热系统过流保护装置,包括过流检测电路,通过感应线圈检测加热系统加热电源线的电流,经处理后输出触发信号;过流保护控制电路,接收过流检测电路输出的触发信号,延时控制加热系统电流调节电位器的电源切断;工作电源电路,为上述各电路中的用电器件提供工作电源。本实用新型具有延时触发功能,避免了在加温过程中加热电流的反复波动,减少了由于负载易受膜材颗粒的影响而反复变化,引起过电流的反复冲击给加热体带来的损坏。
搜索关键词: 物理 沉积 加热 系统 保护装置
【主权项】:
1. 一种物理气相沉积加热系统过流保护装置,其特征在于包括:过流检测电路,通过感应线圈(L)检测加热系统加热电源线的电流,经处理后输出触发信号;过流保护控制电路,接收过流检测电路输出的触发信号,延时控制加热系统电流调节电位器(W)的电源切断;工作电源电路,为上述各电路中的用电器件提供工作电源。
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