[实用新型]低辐射镀膜玻璃溅射保护槽型底板无效
| 申请号： | 200820225968.4 | 申请日： | 2008-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN201292402Y | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 李琛;张庆 | 申请（专利权）人： | 淄博盛达创业玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 255086山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种低辐射镀膜玻璃溅射保护槽型底板，属于低辐射镀膜玻璃制造设备技术领域，包括设置在真空溅射镀膜室底部的保护底板，在保护底板设有沉孔式螺栓孔，其特征是，所述保护底板上设置有凹槽。与现有技术相比，本实用新型降低了底板爆膜现象，延长了保护底板的工作周期，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 镀膜 玻璃 溅射 保护 底板 | ||
【主权项】：
1.一种低辐射镀膜玻璃溅射保护槽型底板，包括设置在真空溅射镀膜室底部的保护底板，在保护底板设有沉孔式螺栓孔，其特征是，所述保护底板上设置有凹槽。
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