[实用新型]一种控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置有效
申请号: | 200820235466.X | 申请日: | 2008-12-16 |
公开(公告)号: | CN201321498Y | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 金启明;吴波 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | C25D1/00 | 分类号: | C25D1/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518118广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置,包括辅助阳极和阴极挂具,所述辅助阳极包括金属网12,所述阴极挂具包括阴极挂板62,其特征在于:所述金属网12和所述阴极挂板62分别形成第一柱面和第二柱面,所述第一柱面和第二柱面的曲导线为只有一个对称轴的轴对称平面曲线;所述曲导线均只有一个凸部,所述凸部的顶点在其曲导线的对称轴上,且所述凸部正对对方凸出;所述金属网12形成的第一柱面在与其轴线垂直的投影面上的投影面积不小于阴极在同一投影面上的投影面积;所述第一柱面和第二柱面的曲导线所在平面的交角为70°~90°。本实用新型能够显著改善电铸沉积层的厚度不均匀性,将电铸沉积层厚度不均匀性控制在2%以内。 | ||
搜索关键词: | 一种 控制 平面 电铸 金属 沉积 均匀 装置 | ||
【主权项】:
1.一种控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置,包括辅助阳极和阴极挂具,所述辅助阳极包括金属网(12),所述阴极挂具包括阴极挂板(62),其特征在于:所述金属网(12)和所述阴极挂板(62)分别形成第一柱面和第二柱面,所述第一柱面和第二柱面的曲导线为只有一个对称轴的轴对称平面曲线;所述曲导线均只有一个凸部,所述凸部的顶点在其曲导线的对称轴上,且所述凸部正对对方凸出;所述金属网(12)形成的第一柱面在与其轴线垂直的投影面上的投影面积不小于阴极在同一投影面上的投影面积;所述第一柱面和第二柱面的曲导线所在平面的夹角为70°~90°。
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