[发明专利]研磨浆料、制备研磨浆料的方法、氮化物晶体材料以及氮化物晶体材料的表面研磨方法无效
| 申请号： | 200880000166.6 | 申请日： | 2008-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101541476A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 川端计博;中山茂吉;石桥惠二 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于氮化物晶体表面研磨的浆料。所述研磨浆料包括氧化物磨粒，选自阴离子性有机分散剂和无机分散剂的至少一种分散剂，以及氧化剂。所述研磨浆料具有小于7的pH值。所述浆料有效地研磨氮化物晶体的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 浆料 制备 方法 氮化物 晶体 材料 以及 表面 | ||
【主权项】：
1.一种用于氮化物晶体表面研磨的研磨浆料，该研磨浆料包括氧化物磨粒，选自阴离子性有机分散剂和无机分散剂的至少一种分散剂，以及氧化剂；该研磨浆料具有小于7的pH值。
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