[发明专利]超导氧化物材料的制造方法

摘要

本发明的课题是提供一种超导氧化物材料的制造方法，其在进行金属有机化合物的热分解和超导物质的热处理形成时，不会引起消融且效率高、性能得到改善的大面积的超导材料。该课题是通过下述手段实现的：在经过下述的工序(1)、(2)和(3)来制造外延生长的超导涂敷材料的方法中，在工序(1)和工序(2)之间照射激光时，在激光的强度、脉冲数、激光总能量的量满足特定数学式的条件下进行所述超导氧化物材料的制造方法，其中工序(1)是将氧化物形成超导物质的金属的有机化合物溶液涂布在支撑体上并使其干燥的工序，工序(2)是使金属的有机化合物中的有机成分热分解的预烧成工序，工序(3)是进行向超导物质转化的主烧成工序。

主权项

1.一种超导氧化物材料的制造方法，其经过将氧化物形成超导物质的金属的有机化合物溶液涂布在支撑体上并使其干燥的工序(1)、使金属的有机化合物中的有机成分热分解的预烧成工序(2)和进行向超导物质转化的主烧成工序(3)来制造外延生长的超导涂敷材料，其特征在于：在工序(1)和工序(2)之间照射激光时，向涂布有形成超导物质的金属的有机化合物溶液的面和/或涂布面的相反侧的面照射激光，所述照射在激光的强度、脉冲数、激光总能量的量满足下述各式1～3，且在用下式4～5的直线围成的条件下进行：式1：5mJ/cm2≤激光的强度F≤200mJ/cm2式2：1≤脉冲数P≤198000000式3：(0.03J/cm2×基板常数)≤激光总能量的量≤(89000J/cm2×基板常数)，该式中，基板常数是由支撑体的材质和厚度决定的1以上的数式4：Log10P＝K1F+K2式5：Log10P＝K1F+K3上述式4、式5中，K1为连接对应于最初发生向超导物质转化的任意的P点的F点与对应于最初发生向超导物质转化的任意的F点的P点的斜率，K2为沿着斜率K1将最初发生向超导物质转化的在F＝5的P点的值外推得到的在F＝0的P点的对数值，K3为沿着斜率K1将最初发生消融的在F＝5的P点的值外推得到的在F＝0的P点的对数值，K3＞K2。