[发明专利]制备金属氧化物薄膜、电容器、氢分离膜-电解质膜组合件和燃料电池的方法

摘要

一种制备金属氧化物薄膜(70)的方法，所述方法包括电镀步骤，在该步骤中使用含二甲基亚砜和卤素的基于甲基酮的有机溶液(20)作为电镀溶液。将该具有腐蚀性的有机溶液作为所述电镀溶液，能够形成非水溶性的金属氧化物薄膜。此外，由于所述有机溶液中含有卤素和二甲基亚砜，因此所形成的金属氧化物薄膜具有高厚度均匀性和高致密性。

主权项

1.一种制备金属氧化物薄膜的方法，其特征在于所述方法包括：电镀步骤，在该步骤中使用含二甲基亚砜和卤素的基于甲基酮的有机溶液作为电镀溶液。