[发明专利]样品定位设备

摘要

一种样品定位台(4)，其用于相对于光学检测装置(2)定位待检测的样品(8)。所述样品定位台包括：基本上平面的第一主体(18)，待检测的样品可以携带在该第一主体上；和第二主体(20)，所述第二主体通过设置在所述第一主体和所述第二主体之间的至少一个刚性轴承(43，45)和至少一个弹柔性轴承(47)直接连接到所述第一主体上。所述至少一个刚性轴承和至少一个弹柔性轴承基本上彼此相对地布置。通过所述轴承使得所述第一主体和第二主体在基本上平行于所述基本上平面的第一主体的平面的方向上对彼此预加载。所述台还包括电机传动的驱动系统(98)，其可操作地朝着从位置输入装置接收的需求相对位置将第一主体和第二主体相对于彼此在第一平面内驱动。所述台还包括位置传感装置，所述位置传感装置用于提供所述第一主体和所述第二主体的相对位置的测量。

主权项

1.一种样品定位台，其用于相对于光学检测装置定位待检测的样品，所述样品定位台包括：基本上平面的第一主体，待检测的样品可以携带在该第一主体上；第二主体，所述第二主体通过设置在所述第一主体和所述第二主体之间的至少一个刚性轴承和至少一个弹柔性轴承直接连接到所述第一主体上，所述至少一个刚性轴承和至少一个弹柔性轴承基本上彼此相对地布置，并且通过所述轴承使得所述第一主体和第二主体在基本上平行于所述基本上平面的第一主体的平面的方向上对彼此预加载，并且通过所述轴承所述第一主体相对于所述第二主体的运动被限制到与所述第一主体的平面基本上平行的第一平面；电机传动的驱动系统，其可操作地朝着从位置输入装置接收的需求相对位置将第一主体和第二主体相对于彼此在第一平面内驱动，其中，所述电机传动的驱动系统在距离所述至少一个刚性轴承比距离所述至少一个弹柔性轴承更近的位置在所述台上施加驱动力；以及位置传感装置，所述位置传感装置位于所述第一主体和所述第二主体的至少一个上，并且距离所述至少一个刚性轴承比距离所述至少一个弹柔性轴承更近，所述位置传感装置用于提供所述第一主体和所述第二主体的相对位置的测量。