[发明专利]感应线圈、等离子发生装置及等离子发生方法有效
| 申请号： | 200880001843.6 | 申请日： | 2008-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN101595768A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 格奥尔基·维诺格拉多夫;弗拉基米尔·梅纳加里什维利;岛村哲彦;中村将之 | 申请（专利权）人： | FOI股份公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/44;C23C16/507;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种感应线圈、等离子发生装置及等离子发生方法，由于产生均匀性高的等离子非常困难，因此为了产生均匀性极高的等离子，在规定的空间中产生等离子时，具备以两个端子间的基准面为对称的形状的感应线圈，其构成为向上述规定的空间供给等离子发生用的气体，通过向上述感应线圈供给高频电功率而使在上述规定的空间中产生等离子。上述基准面是通过上述两个端子间和线圈的纵向方向的轴芯的面。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 线圈 等离子 发生 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感应线圈，其用于使在规定的空间中产生等离子的等离子发生装置，所述感应线圈具有在水平面上至少缠绕两圈的绕线部位和两个端子，相对于通过所述两个端子间和线圈的纵向方向的轴芯的基准面是对称的形状。
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