[发明专利]清洁表面的方法有效
| 申请号： | 200880002706.4 | 申请日： | 2008-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN101583439A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | R·塞尔莫 | 申请（专利权）人： | SEZ股份公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 柳 冀 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 公开了一种清洁盘状物体的表面的方法。所述方法包括以下步骤：以自由流动清洁处理所述表面，其中将液体经由分配喷头以连续液体流分配到所述表面上，和以喷洒清洁处理所述表面，其中将液体经由喷洒喷头以液滴的形式导向所述表面，所述表面在所述自由流动清洁步骤之前用喷洒清洁步骤处理，且在所述自由流动清洁步骤之后用喷洒清洁步骤处理。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 表面 方法 | ||
【主权项】：
1.一种清洁盘状物体的表面的方法，包括以下步骤：-以自由流动清洁处理所述表面，其中将液体经由分配喷头以连续液体流分配到所述表面上，-以喷洒清洁处理所述表面，其中将液体经由喷洒喷头以液滴的形式导向所述表面，其中所述表面在所述自由流动清洁步骤之前用喷洒清洁步骤处理，且在所述自由流动清洁步骤之后用喷洒清洁步骤处理。
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