[发明专利]超光滑面溅射靶及其制造方法有效
| 申请号： | 200880003420.8 | 申请日： | 2008-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN101595239A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 特里·L·班克斯;戴维·B·斯马瑟斯 | 申请（专利权）人： | 东曹SMD有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋 莉 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供去除溅射靶表面变形层厚度从而在溅射操作期间实现降低的预烧时间的方法。所述方法包括用粘弹性研磨介质对所述靶表面进行挤压珩磨抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 光滑 溅射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.处理溅射靶表面以去除表面变形层厚度从而在溅射过程中实现降低的预烧时间的方法，包括：将所述靶表面与粘弹性研磨介质(VEAM)接触，并且赋予在所述靶表面和所述介质之间的相对运动，从而对所述靶表面进行挤压珩磨抛光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东曹SMD有限公司，未经东曹SMD有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880003420.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：Sn-B电镀液以及使用该电镀液的电镀方法
- 下一篇：一种弹簧发动机
- 同类专利
- 专利分类
