[发明专利]用于激光束空间强度分布优化的系统和方法有效
| 申请号： | 200880004568.3 | 申请日： | 2008-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101631641A | 公开（公告）日： | 2010-01-20 |
| 发明（设计）人： | B·A·特克;D·S·诺尔斯 | 申请（专利权）人： | TCZ私菅有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知识产权代理事务所 | 代理人： | 严 慎 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 一种被配置来处理基底的薄光束结晶系统，包括被配置来产生激光的激光器，所述激光器被配置为具有高能模式和低能模式。所述高能模式被配置来产生足以完全熔融以非晶硅膜包覆的基底的光能，而所述低能模式被配置来产生不足以完全熔融以非晶硅膜包覆的基底的光能。所述系统还包括：光束整形光学系统，所述光束整形光学系统耦合到所述激光器并且被配置来将从所述激光器发出的激光转换为具有短轴和长轴的长而薄的光束；工作台，所述工作台被配置来支撑所述基底和膜；以及耦合到所述工作台的平移器，所述平移器被配置来推进所述基底和膜，从而产生与所述激光器的发射相协同的步长。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光束 空间 强度 分布 优化 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理基底的设备，包括：被配置来产生激光的激光器，所述激光器被配置为具有高能模式和低能模式，所述高能模式被配置来产生足以完全熔融硅膜的光能，而所述低能模式被配置来产生不足以完全熔融硅膜的光能；光束整形光学系统，所述光束整形光学系统耦合到所述激光器并且被配置来将从所述激光器发出的激光转换为具有短轴和长轴的长而薄的光束；工作台，所述工作台被配置来支撑所述基底和膜；以及耦合到所述工作台的平移器，所述平移器被配置来推进所述基底和膜，从而产生与所述激光器的发射相协同的步长，其中，所述步长在所述激光器工作在所述低能模式时比所述激光器工作在所述高能模式时小。
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