[发明专利]托盘传输装置有效
申请号: | 200880004571.5 | 申请日: | 2008-02-13 |
公开(公告)号: | CN101622702A | 公开(公告)日: | 2010-01-06 |
发明(设计)人: | 柳弘俊;张元鎭 | 申请(专利权)人: | 宰体有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人: | 谢顺星 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种能够传输上面具有多个用于测试或分拣工序的半导体装置的托盘的托盘传输装置。该托盘传输装置包括托盘传输装置,其包括:托盘把持单元,包括:用于安放托盘的本体单元,该托盘上面装载有多个半导体装置;提升单元,安装在该本体单元一端,以在与该本体单元垂直的方向垂直移动,用于在被垂直提升时支撑该托盘一端;旋转单元,安装在该本体单元另一端,用于当该托盘的一端被该提升单元支撑时通过旋转而将该托盘的另一端推向该提升单元,从而把持该托盘;以及用于驱动该提升单元上下移动并驱动该旋转单元旋转的驱动单元;和通过传输该本体单元传输安放于该托盘把持单元的托盘的传输单元。 | ||
搜索关键词: | 托盘 传输 装置 | ||
【主权项】:
1、一种托盘传输装置,其包括:托盘把持单元,包括:用于安放托盘的本体单元,该托盘上面装载有多个半导体装置;提升单元,安装在该本体单元一端,以在与该本体单元垂直的方向垂直移动,用于在被垂直提升时支撑该托盘一端;旋转单元,安装在该本体单元另一端,用于当该托盘的一端被该提升单元支撑时通过旋转而将该托盘的另一端推向该提升单元,从而支撑该托盘;以及驱动单元,用于驱动该提升单元上下移动并驱动该旋转单元旋转,和传输单元,通过传输该本体单元传输安放于该托盘把持单元的托盘。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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