[发明专利]压电执行器以及制造压电执行器的方法有效
申请号: | 200880005535.0 | 申请日: | 2008-02-19 |
公开(公告)号: | CN101647131A | 公开(公告)日: | 2010-02-10 |
发明(设计)人: | A·多纳-赖塞尔 | 申请(专利权)人: | 欧陆汽车有限责任公司 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/047;H01L41/22 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张 涛;刘春元 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种全活性压电执行器(90)和一种制造全活性压电执行器(90)的方法。首先提供全活性压电堆(1),具有交替叠置的压电层(2)和一直贯通到压电堆(1)外侧(5,6)的内电极,所述内电极分别具有难以或者无法附着涂层的第一区域(31)和易于附着涂层的第二区域(32)。设置内电极,使得压电执行器(90)的第一外电极(10)和第二外电极(11)交替接触内电极的第一区域(31)。至少在对应于压电执行器(9)的外电极(10,11)的区域中用涂层涂覆全活性压电堆(1)的外侧(5,6)。接着在紧邻内电极(3,4)的第一区域(31)的区域中去除该涂层(70),并且将两个外电极(10,11)敷设到剩余的涂层(80)上,使得外电极(10,11)接触内电极的第一区域(31),否则将涂层(80)布置在内电极和外电极(10,11)之间。 | ||
搜索关键词: | 压电 执行 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于制造压电执行器的方法,包括下列方法步骤:-提供全活性压电堆(1),该全活性压电堆具有交替叠置的压电层(2)和一直贯通到压电堆(1)的外侧(5,6)的内电极(3,4),所述内电极分别具有难以或者无法附着涂层(70)的第一区域(31)和易于附着涂层(80)的第二区域(32),设置所述内电极(3,4),使得压电执行器(9)的第一外电极(10)和第二外电极(11)交替接触内电极(3,4)的第一区域(31),-至少在对应于压电执行器(9)的外电极(10,11)的区域中用所述涂层(70)完全涂覆全活性压电堆(1)的外侧(5,6),-在紧邻内电极(3,4)的第一区域(31)的区域中去除该涂层(70),并且-将两个外电极(10,11)敷设到涂层(80)上,使得外电极(10,11)接触内电极(3,4)的第一区域(31),否则将涂层(80)布置在内电极(3,4)和外电极(10,11)之间。
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