[发明专利]离子注入系统的电源供应器无效
| 申请号： | 200880005779.9 | 申请日： | 2008-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN101627529A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 皮尔·R·卢比克;拉塞尔·J·罗;史蒂夫·E·克劳斯;艾立克·赫尔曼森 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H02M7/10 | 分类号： | H02M7/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种离子注入系统的电源供应系统。在一实施例中，此系统可为一种电源供应系统，其包括低频电源变换器、堆栈式驱动器以及从电源变换器接收源电力的高压发电单元。高压发电单元可包括用以提供输出电力的高压变压器，输出电力倍增到所需的输出电平并且输送到离子束加速器的输入端。电源供应系统还可包括介电外壳，其包围高压发电单元的至少一部份，藉此避免内部元件的崩溃强度变化。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 系统 电源 供应 | ||
【主权项】：
1、一种离子注入系统的电源供应器，包括：电源转换器；高压发电单元，从所述电源转换器接收源电力，其中所述高压发电单元包括用以提供倍增到所需的输出电平的输出电力的高压变压器；以及外壳，包括介电材质，所述介电材质包围所述高压发电单元的至少一部份。
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