[发明专利]用于形成气态有机硅化合物的方法和设备无效
| 申请号： | 200880006425.6 | 申请日： | 2008-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN101622261A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·艾伦;约瑟夫·阿维得;亚历山大·戈蒙德;迈克尔·戴维斯 | 申请（专利权）人： | 斯克司聪先进材料公司 |
| 主分类号： | C07F7/08 | 分类号： | C07F7/08;B01F3/06;B01J19/14;B01J4/02;B01J8/02;G05B19/042;G05D23/19;G05D7/06;C07F7/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王 旭 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 本申请涉及由固体有机硅烷化合物形成具有所需摩尔比的气态有机硅化合物的混合物的方法，所述方法包括在保持预定压力的同时将固体有机硅烷热解的步骤，选择所述预定压力以提供所需的气态有机硅化合物的摩尔比。还公开了相关设备和控制机构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 气态 有机硅 化合物 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于由固体有机硅烷化合物制备具有所需摩尔比的气态有机硅化合物的混合物的方法，所述方法包括在保持预定压力的同时将所述固体有机硅烷热解的步骤，选择所述预定的压力以提供所需摩尔比的气态有机硅化合物。
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