[发明专利]传感器、传感器的温度控制方法和异常恢复方法无效
| 申请号： | 200880006480.5 | 申请日： | 2008-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN101627286A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 森田靖二;畠山洋志;青岛滋;守尾周次;藁品勇 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01F1/692 | 分类号： | G01F1/692;G01F1/684;G01F1/696 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种传感器、传感器的温度控制方法和异常恢复方法，在构成组件的基板中，至少一片基板上设有加热器(23)，根据组件内的传感器芯片(5)的周围温度变化，通过调节对加热器(23)的通电量，对组件内的温度进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 温度 控制 方法 异常 恢复 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，包括：对测量对象的气体的物理量进行检测的传感器芯片；以及将多片基板层叠而构成的组件，该组件具有使所述测量对象的气体暴露于该组件所收纳的所述传感器芯片的传感器面的组件内流路，其特征在于，在所述基板中的至少一片基板上，设有加热器。
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