[发明专利]估计待测器件的扫描链中的固定型缺陷的位置有效
| 申请号： | 200880006537.1 | 申请日： | 2008-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN101627370A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 菲尔·布里森;约翰·费迪尼 | 申请（专利权）人： | 惠瑞捷（新加坡）私人有限公司 |
| 主分类号： | G06F11/00 | 分类号： | G06F11/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 宋 鹤;南 霆 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在扫描图像被从扫描链移出时，针对逻辑条件的存在性来实时地评估该扫描图样。维持到扫描图样的当前正被评估的一部分的参考。当在该参考与存储值具有预定关系时识别出存在所述逻辑条件之后，使用参考来覆写存储值。然后，使用存储值来估计扫描链中的固定型缺陷的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 估计 器件 扫描 中的 固定 缺陷 位置 | ||
【主权项】：
1.一种用于估计待测器件的扫描链中的固定型缺陷的位置的方法，包括：在扫描图样被从所述扫描链移出时，针对逻辑条件的存在性来实时地评估所述扫描图样；维持到所述扫描图样的当前正被评估的一部分的参考；当在所述参考与存储值具有预定关系时识别出存在所述逻辑条件之后，使用所述参考来覆写所述存储值；以及使用所述存储值来估计所述扫描链中的所述固定型缺陷的位置。
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