[发明专利]气体分析器有效
| 申请号： | 200880006881.0 | 申请日： | 2008-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101627302A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 青木润次;北浦宏和;布姆赛力克·赛义德 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 黄依文 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的气体分析器包含：离子化部(211)，用以离子化试样气体；第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213)，夹着所述离子化部(211)而设置，并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同，以检测来自所述离子化部(211)的离子；过滤器部(214)，设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间，选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过；运算装置(3)，利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP1及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP2，修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP1；且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中，可维持分辨率，并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 分析器 | ||
【主权项】：
1.一种气体分析器，包含：离子化部，用以离子化试样气体；第1离子检测部及第2离子检测部，夹着所述离子化部而设置，并且离开所述离子化部的距离相互不同，以检测来自所述离子化部的离子；过滤器部，设在所述离子化部及所述第1离子检测部之间，选择性地使来自所述离子化部的离子通过；及运算装置，利用通过所述第1离子检测部所得的试样气体的第1全压及通过所述第2离子检测部所得的试样气体的第2全压，修正通过所述第1离子检测部所得的由所述过滤器部所选择的特定成分的分压。
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