[发明专利]位置测量模块、位置测量装置、平台装置、曝光装置以及元件制造方法无效
| 申请号： | 200880007480.7 | 申请日： | 2008-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101627341A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 诸江顺一 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B9/02;G01B11/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿 宁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种位置测量模块的结构中具备有：移动镜，设置于移动体，且沿着第1轴方向具有反射面；检测光单元，针对上述第1轴方向上排列着的多个测量轴中的每一个而配置，沿着与上述第1轴方向交叉的第2轴方向来对上述移动镜照射检测光；基准光单元，包含固定在与上述移动体不同的构件上的固定镜，且对该固定镜照射基准光；多个光路结合元件，针对每一个上述测量轴，对由上述移动镜反射的上述检测光的各检测光路进行光路结合，或者对经由上述基准光单元的上述基准光的基准光路与上述检测光路进行光路结合；以及检测部，对经由上述光路结合元件而入射的上述检测光与上述基准光的干涉所引起的干涉条纹进行检测，并根据该干涉条纹的检测结果，测量上述移动体在上述第2轴方向上的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 测量 模块 装置 平台 曝光 以及 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种位置测量模块，其特征在于包括：移动镜，设置于移动体，且沿着第1轴方向具有反射面；检测光单元，针对上述第1轴方向上排列着的多个测量轴中的每一个而配置，沿着与上述第1轴方向交叉的第2轴方向对上述移动镜照射检测光；基准光单元，包含固定在与上述移动体不同的构件上的固定镜，且对该固定镜照射基准光；多个光路结合元件，针对每一个上述测量轴，对由上述移动镜反射的上述检测光的各检测光路进行光路结合，或者对经由上述基准光单元的上述基准光的基准光路与上述检测光路进行光路结合；以及检测部，对经由上述光路结合元件而入射的上述检测光与上述基准光的干涉所引起的干涉条纹进行检测，并根据该干涉条纹的检测结果，测量上述移动体在上述第2轴方向上的位置。
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