[发明专利]用于监控真空度的装置

摘要

一种用于监控真空开关管中的真空度的泄漏传感器(1)，其具有尤其为薄膜或波纹管形式的可变形的隔膜。所述隔膜通过测量孔(9)与真空开关管的真空室连通。当真空开关管的真空室漏气时，所述薄膜或者波纹管(13)发生变形，所述变形可以用机械的显示装置(25)，光学装置或者光电装置(1)加以检测。

主权项

1.一种用于监控真空室中的、尤其真空开关管中的真空度的装置(1，31，41，61)，其具有依据真空室中的压力改变其物理性能的构件(13)，以及具有用于检测所述构件性能变化的设备，其特征在于，所述构件(13)是所述真空室与真空室的周围环境之间的可变形的隔膜，并且通过用于检测构件(13)性能变化的设备(17，25，33，35，43，63)，来采集所述隔膜变形的极限值。