[发明专利]用于多靶溅射系统的电源装置有效
| 申请号： | 200880008645.2 | 申请日： | 2008-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN101689469A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | T·布鲁克;P·沃德;M·巴尔奈斯 | 申请（专利权）人： | 因特瓦克公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 邬少俊;王 英 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于同时为多个溅射源供电的装置。电源耦合到电荷累计器。所述电荷累计器经由开关装置耦合到几个溅射源。每一个开关装置的占空比用来单独控制传输到每一个溅射源的功率。在另一个装置中，电源耦合到阻抗匹配电路。所述阻抗匹配电路经由几个平衡元件耦合到几个溅射源。操作每一个平衡元件以单独控制传输到所述溅射源的功率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 溅射 系统 电源 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于同时为多个溅射源供电的电源装置，包括：DC电源；电荷累计器，其耦合到所述电源；多个功率传输开关，每一个所述功率传输开关耦合到所述电荷累计器与所述多个溅射源中的相应一个之间；以及，控制器，启动所述功率传输开关中的每一个以单独控制从所述电荷累计器传输到所述多个溅射源中的每一个的功率量。
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