[发明专利]振荡器装置、光偏转器和使用该光偏转器的成像设备

摘要

振荡器装置，包括振荡系统(100)、驱动部件(130)和控制装置(120)，振荡系统(100)包括第一振荡可动元件(101)、第二振荡可动元件(102)和支撑部件(103)；第一振荡可动元件(101)由第一弹性支撑元件(110)支撑，相对于第二振荡可动元件(102)且关于振荡轴线(A)扭转振荡；第二振荡可动元件(102)由第二弹性支撑元件(112)支撑，相对于支撑部件(103)且关于振荡轴线(A)扭转振荡；振荡系统(100)具有谐振频率f₁的第一固有振荡模式和谐振频率f₂的第二固有振荡模式，f₂约为f₁的N倍，N为自然数，控制装置(120)按照预定方程式确定设定驱动频率Df₁和Df₂，同时满足Df₂＝N×Df₁，并且通过驱动部件(130)以设定驱动频率驱动振荡系统。

主权项

1.一种振荡器装置，包括振荡系统、驱动部件和控制装置，所述驱动部件配置成驱动所述振荡系统，所述控制装置配置成确定要从所述驱动部件施加到所述振荡系统的驱动力，其特征在于：所述振荡系统包括第一振荡可动元件、第二振荡可动元件和支撑部件；所述第一振荡可动元件由第一弹性支撑元件支撑，用于相对于所述第二振荡可动元件且关于一振荡轴线扭转振荡；所述第二振荡可动元件由第二弹性支撑元件支撑，用于相对于所述支撑部件且关于所述振荡轴线扭转振荡；所述振荡系统具有关于所述振荡轴线的不同频率的第一和第二固有振荡模式，其中当所述第一固有振荡模式的谐振频率是f1、所述第二固有振荡模式的谐振频率是f2并且N是不小于2的整数时，满足下列关系：0.98N≤f2/f1≤1.02N(其中排除了f2/f1＝N的情况)；所述控制装置设置成根据下列关系确定设定驱动频率Df1和Df2：Df1＝(α1×N×f1+α2×f2)/NDf2＝(α1×N×f1+α2×f2)α1+α2＝1α1＞0α2＞0以便满足下列关系：Df2＝N×Df1；以及所述驱动部件按照所述设定驱动频率Df1和Df2驱动所述振荡系统。