[发明专利]水晶振子片及其制造方法

摘要

本发明的目的是，提供一种漏振的发生被抑制了的水晶振子片及其制造方法。本发明设计的水晶振子片的制造方法的特征是，具有在水晶片的表面上形成第一蚀刻掩模，并在水晶片的背面上形成第二蚀刻掩模；通过用蚀刻溶液进行浸渍，将未被第一蚀刻掩模和第二蚀刻掩模覆盖的部分的水晶溶解，从而形成振动腿的步骤，在第二蚀刻掩模中，从与第一蚀刻掩模的第一端部对应的位置突出的第一突出部的长度被设定成，使形成在所述第一侧面侧的所述第一残渣固定不变，而跟第一蚀刻掩模与第二蚀刻掩模的错位无关，第一和第二蚀刻掩模，对形成在第二侧面侧的第二残渣进行调整，从而使在与振动腿的纵向正交的截面上穿过机械正交的图心的两个主轴中的一方，被形成为与水晶片的表面或背面大致平行。

主权项

1.一种水晶振子片的制造方法，所述水晶振子片包括具有第一侧面和第二侧面的振动腿，其特征在于，具有：在水晶片的表面上形成第一蚀刻掩模，并在所述水晶片的背面上形成第二蚀刻掩模；通过用蚀刻溶液进行浸渍，将未被所述第一蚀刻掩模和所述第二蚀刻掩模覆盖的部分的水晶溶解，从而形成所述振动腿的步骤，在所述第二蚀刻掩模中，从与所述第一蚀刻掩模的第一端部对应的位置突出的第一突出部的长度被设定成，使形成在所述第一侧面侧的所述第一残渣固定不变，而跟所述第一蚀刻掩模与所述第二蚀刻掩模的错位无关，所述第一和第二蚀刻掩模，对形成在所述第二侧面侧的第二残渣进行调整，从而使在与所述振动腿的纵向正交的截面上穿过机械正交的图心的两个主轴中的一方，被形成为与所述水晶片的表面或背面大致平行。