[发明专利]气体供给方法和气体供给装置

摘要

本发明提供一种气体供给方法，其用于将原料气体供给至消耗区域，该原料气体通过对原料容器内的固体原料进行加热并使其气化而得到，该气体供给方法的特征在于，包括：工序(a)，使载气在与消耗区域连通的处理气体供给路内流通，同时测定该处理气体供给路内的气体压力；工序(b)，对上述原料容器内的固体原料进行加热，产生原料气体；工序(c)，将与上述工序(a)相同流量的载气供给至上述原料容器内，使上述原料气体与该载气一起在上述处理气体供给路内流通，同时测定该处理气体供给路内的气体压力；和工序(d)，根据在上述工序(a)中取得的压力测定值、在上述工序(c)中取得的压力测定值和载气流量，计算上述原料气体的流量。

主权项

1.一种气体供给方法，其用于将原料气体供给至消耗区域，该原料气体通过对原料容器内的固体原料进行加热并使其气化而得到，该气体供给方法的特征在于，包括：工序(a)，使载气在与消耗区域连通的处理气体供给路内流通，同时测定该处理气体供给路内的气体压力；工序(b)，对所述原料容器内的固体原料进行加热，产生原料气体；工序(c)，将与所述工序(a)相同流量的载气供给至所述原料容器内，使所述原料气体与该载气一起在所述处理气体供给路内流通，同时测定该处理气体供给路内的气体压力；和工序(d)，根据在所述工序(a)中取得的压力测定值、在所述工序(c)中取得的压力测定值和载气流量，计算所述原料气体的流量。