[发明专利]激光式气体分析仪

摘要

本发明涉及频率调制方式的激光式气体分析仪。在该激光式气体分析仪中，光源部(204)包括：激光驱动信号生成部(240s)、电流控制部(204c)、激光元件(204e)、热敏电阻(204f)、珀耳帖元件(204g)和温度控制部(204d)，其中激光驱动信号生成部(204s)将以扫描测定对象气体的吸收波长的方式改变激光的发光波长的波长扫描驱动信号、和调制发光波长的高频调制信号合成，作为激光驱动信号输出，信号处理电路(208)包括：根据受光部(207)的输出信号对调制信号的2倍频率成分的振幅进行检测的同步检波电路(208b)、和运算部(208e)。

主权项

1.一种激光式气体分析仪，其包括：射出被频率调制后的激光的光源部；使来自该光源部的射出光平行的射出光学系统；将从该射出光学系统经测定对象气体所存在的空间传播的透过光聚光的聚光光学系统；接收通过该聚光光学系统被聚光后的光的受光部；和处理该受光部的输出信号的信号处理电路，所述信号处理电路根据所述受光部的输出信号对所述光源部的调制信号的2倍频率成分的信号进行检测，对测定对象气体的浓度进行测定，所述激光式气体分析仪的特征在于：所述光源部包括：激光驱动信号生成部，其将以扫描测定对象气体的吸收波长的方式使激光元件的发光波长可变的波长扫描驱动信号、和用于调制所述发光波长的高频调制信号合成，作为激光驱动信号输出；电流控制部，其将从该激光驱动信号生成部输出的所述激光驱动信号变换为电流；和被供给从该电流控制部输出的电流的所述激光元件，所述信号处理电路包括：根据所述受光部的输出信号检测所述2倍频率成分的信号的振幅的同步检波电路；和根据存在于该同步检波电路的输出信号中的气体吸收波形检测测定对象气体的浓度的运算部。