[发明专利]微机械加工的流体喷射器

摘要

本发明涉及具有流体贮液腔的微机械加工的流体喷射器阵列，该流体贮液腔的一侧为具有设置于同心压电换能器之间的可伸缩孔口阵列的弹性薄膜，其另一侧则是由围壁支撑的顶盖。通过致动相邻的同心压电换能器，所述设置于被致动的相邻同心压电换能器之间的可伸缩孔口阵列发生偏转，从而喷出流体液滴。本发明还公开了一种具有流体贮液腔的微机械加工的流体喷射器，该流体贮液腔的一侧为具有设置于同心压电换能器之间的可伸缩孔口阵列的弹性薄膜，其另一侧为由围壁支撑的具有压电层的顶盖。一个压电层粘结在所述顶盖上。通过致动粘结在所述顶盖上的压电层，所述设置于相邻同心压电换能器之间的可伸缩孔口阵列同相位地发生偏转，从而喷出流体液滴。

主权项

1.一种微机械加工的流体喷射器，包括：包括两个或两个以上同心压电换能器的薄膜；以及两个或两个以上穿过所述薄膜并设置于所述两个或两个以上同心压电换能器之间的孔口。