[发明专利]用于在光致抗蚀剂图案上面涂覆的含内酰胺的组合物

摘要

本发明涉及用于涂覆光致抗蚀剂图案的水性涂料组合物，其包含含结构(1)的内酰胺基团的聚合物，其中R₁独立地选自氢、C₁－C₄烷基、C₁－C₆烷基醇、羟基(OH)、胺(NH₂)、羧酸和酰胺(CONH₂)，表示与所述聚合物的连接部分，m＝1－6，n＝1－4。本发明还涉及制造微电子器件的方法。

主权项

1.用于涂覆光致抗蚀剂图案的水性涂料组合物，其包含含至少一种内酰胺基团的聚合物，其中与该聚合物连接的内酰胺基团具有结构(1)，其中R₁独立地选自氢、C₁-C₄烷基、C₁-C₆烷基醇、羟基(OH)、胺(NH₂)、羧酸和酰胺(CONH₂)，表示与所述聚合物的连接部分，m＝1-6，n＝1-4。