[发明专利]具有接触探测器的装置

摘要

本发明涉及一种用于探测测试样品表面区域电学性能的探针。所述探针位于与所述测试样品相应的特定方向内。所述探针包含确定第一表面的支撑体，可从与第一表面共面的支撑体延伸的多个悬臂(12)。所述多个悬臂(12)可基本上彼此平行地延伸，且所述多个悬臂(12)的每一个包含将相对于测试样品表面的所述探针移动到所述特定方向来接触所述测试样品区域的电导体端部。所述探针还包括从支撑体延伸的接触探测器(14)，使得在进行上述移动时，所述接触探测器(14)先于接触所述测试样品所述表面的多个悬臂(12)的任一个之前接触所述测试样品的所述表面。

主权项

1、一种测定测试样品表面区域电学特性的探针，所述探针相对于所述测试样品处于特定方向，所述探针包括：确定第一表面的支撑体；从与所述第一表面共面的所述支撑体延伸的多个悬臂，所述多个悬臂彼此大致平行地延伸，所述多个悬臂的每一个包括一个电传导的端部，所述端部通过将与测试样品的所述表面相应的所述探针移动到所述特定方向内以接触所述测试样品的所述表面，以及从所述支撑体延伸的接触探测器，所述接触探测器设置成进行上述移动时在接触所述测试样品所述表面的所述多个悬臂的任一个之前或同时接触所述测试样品的所述表面，其中所述接触探测器是一个应变计式传感器，包括：在自身基座处分成两个锚臂的柔性臂，以及从所述锚臂中的一个描臂传输到柔性臂并由所述锚臂的另外一个锚臂传输回来的非压阻材料的电学通路。